超大型ワーク（長さ10m×幅2mの金属板）表面の欠陥（凹み、ふくらみ、変色）を自動検査する装置です。
自動車の洗車機をより大きくしたような外観の検査装置であり、スキャニングする検査装置本体と、
本体を移動させる約15mの支持台および走行レール、超大型ワークを設置する検査台等で構成されます。
スキャニングする検査装置本体には計13台のラインセンサカメラとライン照明が搭載されており、
ライン照明でワークを照らし、ワークからの正反射光をラインセンサカメラで検出します。（明視野像を取得）
次に、欠陥部の特徴を画像処理で抽出し、欠陥の検出と位置特定を行い、欠陥部のみ表面形状を測定します。

• 検査台にワークの撓みを無くすためのバキュームチャック機構あり
• 検査前にワーク表面を拭き上げ、エアーブローによる埃や塵を除去する機能あり
• 検出された欠陥部のマーキングが可能
• 検出された欠陥部の表面形状は三次元形状測定器による詳細な測定が可能
• 基本検査フロー（以下の通り）
  
  

検査工程の自動化による工程の高効率化

• 検査時間の短縮
• 検査時間・基準のバラつき低減
  
  

• ホストPC（操作部）：デスクトップPCおよび測定部内モニタ他
• 画像処理およびステージ制御コントローラ（制御部）：NI PXIシステム一式
• 三次元形状測定器
• ライン照明
• ラインセンサカメラ×13台
• レーザー距離測定器
• セーフティセンサ
• エアーブロー
• 多軸（6軸）ステージ：検査装置本体
• 検査台（バキュームチャック機構を含む）