微細欠陥検査装置
特長
- 検査データと画像を自動で保存
- カメラ画素数:900万画素
- 高い光学分解能(1.8μm)で微細な検査箇所も綺麗に見える
- タッチパネルの周辺電極、プリント基板の微細配線の断線、短絡の検査に最適
検査用途
タッチパネル等の欠陥、異物などの検査に!
- タッチパネル周辺電極欠陥検査
- シート表面キズ、異物検査
- 基板欠陥検査
仕様
外形寸法 | 1000×1200×1080㎜ |
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重量 | 400㎏ |
測定範囲 | 600×400㎜ |
被測定物の最大高さ | 30㎜ |
光学分解能 | 1.8μm |
制御分解能 | 1.0μm |
繰り返し位置決め精度 | ±5μm |
光学倍率 | 2倍 |
視野範囲 | 6.3㎜×5.0㎜ |
モニター | TFT23.6型ワイド
解像度:1920×1080ピクセル |
カメラ | CCDモノクロ1インチ
画素数:900万画素 |
レンズ | テレセントリックレンズ
WD:65㎜ 被写界深度0.095㎜ |
照明 | 同軸落射照明 |
電源 | AC100V 50/60Hz |
開発言語 | LabVIEW |