微細欠陥検査装置
高解像度カメラと高精度X-Yステージを用いた二次元の検査装置です。
光学フィルム、シートやタッチパネルなどの表面キズ、異物の検査や欠陥検査に適しています。
光学分解能「1.8μｍ」で、非常に高精細な検査が可能です。
寸法測定にも対応でき、二次元の打ち抜き加工品などの検査もできます。
特長
- 検査データと画像を自動で保存
- カメラ画素数：900万画素
- 高い光学分解能(1.8μm)で微細な検査箇所も綺麗に見える
- タッチパネルの周辺電極、プリント基板の微細配線の断線、短絡の検査に最適
検査用途
タッチパネル等の欠陥、異物などの検査に！
- タッチパネル周辺電極欠陥検査
- シート表面キズ、異物検査
- 基板欠陥検査
仕様
| 外形寸法 | 1000×1200×1080㎜ |
|---|---|
| 重量 | 400㎏ |
| 測定範囲 | 600×400㎜ |
| 被測定物の最大高さ | 30㎜ |
| 光学分解能 | 1.8μm |
| 制御分解能 | 1.0μm |
| 繰り返し位置決め精度 | ±5μm |
| 光学倍率 | 2倍 |
| 視野範囲 | 6.3㎜×5.0㎜ |
| モニター | TFT23.6型ワイド
解像度：1920×1080ピクセル |
| カメラ | CCDモノクロ1インチ
画素数：900万画素 |
| レンズ | テレセントリックレンズ
WD：65㎜ 被写界深度0.095㎜ |
| 照明 | 同軸落射照明 |
| 電源 | AC100V 50/60Hz |
| 開発言語 | LabVIEW |
