微細欠陥検査装置

写真:微細欠陥検査装置

高解像度カメラと高精度X-Yステージを用いた二次元の検査装置です。
光学フィルム、シートやタッチパネルなどの表面キズ、異物の検査や欠陥検査に適しています。
光学分解能「1.8μm」で、非常に高精細な検査が可能です。
寸法測定にも対応でき、二次元の打ち抜き加工品などの検査もできます。

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特長

  • 検査データと画像を自動で保存
  • カメラ画素数:900万画素
  • 高い光学分解能(1.8μm)で微細な検査箇所も綺麗に見える
  • タッチパネルの周辺電極、プリント基板の微細配線の断線、短絡の検査に最適

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検査用途

タッチパネル等の欠陥、異物などの検査に!

  • タッチパネル周辺電極欠陥検査
  • シート表面キズ、異物検査
  • 基板欠陥検査

仕様

外形寸法 1000×1200×1080㎜
重量 400㎏
測定範囲 600×400㎜
被測定物の最大高さ 30㎜
光学分解能 1.8μm
制御分解能 1.0μm
繰り返し位置決め精度 ±5μm
光学倍率 2倍
視野範囲 6.3㎜×5.0㎜
モニター TFT23.6型ワイド
解像度:1920×1080ピクセル
カメラ CCDモノクロ1インチ
画素数:900万画素
レンズ テレセントリックレンズ
WD:65㎜
被写界深度0.095㎜
照明 同軸落射照明
電源 AC100V  50/60Hz
開発言語 LabVIEW
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