VSAウエハテスタ VSA Wafer Tester



概要・開発言語

概要

  • 生産ライン上でベクトル周波数アナライザを用いてウエハの周波数特性を検査。
  • 複数の電圧出力設定が可能。

開発言語: LabVIEW

特徴

  • PXIシステム導入によりコンパクト化。
  • 測定条件の柔軟さにより測定時間の短縮を実現。
  • パワーセンサのキャリブレーション機能搭載。
  • 前工程の結果の閲覧が可能。
  • 次工程に必要な結果を出力。

システム構成

  • PXIe-1078 シャーシ
  • PXIe-8135 コントローラ
  • PXIe-5644R ベクトル周波数アナライザ
  • PXIe-4144 ソースメジャーユニット(SMU)
  • プローバー、パワーメーター(センサ)、信号源