ウエハーテスター(目視検査支援) Wafer Tester (Visual Inspection)


ウエハーテスター(目視検査支援)


2軸ステージを動作させ、カメラ(表/裏)から画像データをPCに取り込み目視検査の支援を行うシステム(作業効率を大幅に向上)。

用途・開発言語

用途: 本ソフトウェアは、XYステージ上に置かれたウェハの規則的に並んだチップをカメラで撮影し、目視により、OK、NGの分類を行います。

開発言語: Microsoft Visual Studio .NET 2003

システムの特徴

  • 表面、裏面両方にカメラが取り付けられているため、両方の検査が行えます。
  • ペンタブレットを使用しているため、画面をタッチして検査が行え不良箇所をデータとして残すことができます。
  • 検査した画像を保存しているため、目視だけでなく、データとしても残ります。
  • カメラレンズに対応したキャリブレーションができます。

技術的な特徴

  • デュアルモニタ対応。
  • ステージのアライメントが設定できます。
  • 検査した画像を保存しているため、目視だけでなく、データとしても残ります。
  • カメラ2台制御(両面同時検査)。
  • カメラレンズに対応したキャリブレーションができます。